美國ALICAT MS/MCS 系列耐腐蝕質量流量計產品概述:
Alicat 的 MS 系列數字式質量流量計可精、快速測量腐蝕性氣 體(如：NH3、H2S、SiH4 等)的質量流量、體積流量、壓力和 溫度。MCS 系列質量流量控制器通過定制化的高速比例控制閥 還可精控制腐蝕性過程氣體的質量流量、體積流量和壓力。
MS/MCS 系列質量流量計&質量流量控制器的核心部件是 Alicat 專有的層流壓差技術，確保在大流量情況仍然是線性流動，從而 補償了工藝溫度和壓力變化對質量流量及體積流量產生的影響。 *有 Alicat 質量流量計&質量流量控制器均具有 NIST 可溯源校準 證書。
MS/MCS 系列質量流量計/質量流量控制器采用全不銹鋼結構及彈性密封材料，內置 130/128 種標準氣體供 選擇。集成式多功能數字顯示屏允許用戶通過顯示屏按鈕操作便可進行氣體切換、設定值輸入及 PID 閥門 調節。MS/MCS 系列設備支持標準的模擬通訊和 RS-232 數字通訊模式，另有各類定制化選項供特殊項目 需求，如：用于危險環境的 ATEX(歐洲)1 類 2 區和 CSA(美國)1 類 2 區認證產品等。另有便攜式(MBS 系 列)質量流量計可選。
美國ALICAT MS/MCS 系列耐腐蝕質量流量計產品應用:
Alicat 的 MS/MCS 系列數字式質量流量計/質量流量控制器為腐蝕性過程氣體應用的首肯，如：半導體行業 等。多變量測量與控制、多種氣體標定以及 100:1 量程可調比使得僅用單臺 MS/MCS 系列質量流量控制器 便可取代多臺設備的功效。很高可達 0.4%的精度、0.2%重復性及不到 100 毫秒的控制響應時間很大程度優 化了氣體控制過程。
MS/MCS 質量流量計&質量流量控制器可測量與控制從 0-0.5 sccm 到 0-3000 slpm 的滿量程的任何流量。
手機查報價
